中国电子科技集团公司第四十八研究所
企业简介
      中国电子科技集团公司第48研究所是我国的从事研究\开发\制造以"三束"为主的半导体微细加工设备的厂家. 它通过了 GB/T1 9001-2000 (idt ISO9001:2000) 质量体系认证.
我所主要开发五大系列的产品:1、离子注入机\电子束
中国电子科技集团公司第四十八研究所的专利信息
序号 公布号 发明名称 公布日期 摘要
1 CN106130113A 一种便携式旋翼无人机充电装置 2016.11.16 本发明公开了一种便携式旋翼无人机充电装置,包括起降平台、可折叠式光伏发电组件、能源控制器和储能单元,
2 CN103471502B 一种气液两相流气泡体积检测装置及检测方法 2016.08.10 本发明公开了一种气液两相流气泡体积检测装置及检测方法,本发明的检测装置采用对射式光路,包括双路红外检
3 CN205302849U 一种柔性显示屏与太阳能电池一体化装置 2016.06.08 本实用新型公开了一种柔性显示屏与太阳能电池一体化装置,包括由多块柔性太阳能电池片组成的电池阵列,所述
4 CN200990717Y 大尺寸石墨电极 2007.12.12 一种大尺寸石墨电极,用作制备太阳能电池减反射膜电极装置,它有多片分立竖置且相互平行的石墨电极片,其上
5 CN103866393B 一种减压扩散炉反应管的密封装置 2016.06.22 本发明涉及一种减压扩散炉反应管的密封装置,反应管的开口端设有炉门,所述密封装置包括分别套装于反应管外
6 CN101038856A 半导体晶片的封闭式红外线加热装置 2007.09.19 一种半导体晶片的封闭式红外线加热装置,包括带密封盖板的壳体内部为红外线发生腔,壳体一侧设有由透射玻璃
7 CN106166462A 一种用于质子交换设备的搅拌装置 2016.11.30 本发明公开了一种用于质子交换设备的搅拌装置,质子交换设备包括片架安装轴,用于质子交换设备的搅拌装置包
8 CN3639682D 轮胎压力温度监测报警系统 2007.05.02 仰视图不易看到,省略仰视图。
9 CN201016565Y 一种用于制备PN结的高温炉门自动密闭结构装置 2008.02.06 本实用新型提供一种用于制备PN结的高温炉门自动密闭结构装置,包括石英炉门、石英反应管和碳化硅悬臂桨,
10 CN2853812Y 用于氮化镓材料制备工艺的辐射式加热器 2007.01.03 一种用于氮化镓材料制备工艺的辐射式加热器,有用连接件连接的上连接板和下连接板,圆形瓷板用钼螺杆同上连
11 CN205656159U 氢气传感器芯体 2016.10.19 本实用新型公开了一种氢气传感器芯体,氢气传感器芯体依次包括基片、由非晶碳构成的介质层和氢气敏感层;非
12 CN104117864B 一种球面工件上钻小孔加工工装 2016.07.13 一种球面工件上钻小孔加工工装,包括球体座、母球体和球体盖;该母球体置于该球体座的容置空间,该球体盖设
13 CN106158719A 晶片支撑环、晶片支撑夹具及晶片加工设备 2016.11.23 一种晶片支撑环,包括支撑环本体,支撑环本体包括外环部和内环部,内环部的高度比外环部低,内环部上表面的
14 CN104465282B 一种具有冷却结构的离子束刻蚀机工作台 2016.10.19 本发明公开了一种具有冷却结构的离子束刻蚀机工作台。所述具有冷却结构的离子束刻蚀机工作台包括固定在离子
15 CN101038850A 离子注入高温靶盘 2007.09.19 一种离子注入高温靶盘,包括带冷却水槽的靶盘座,靶盘座外周的晶片夹卡机构经支条同靶盘座相连,二点卡子经
16 CN106247794A 一种链式烧结炉输送装置 2016.12.21 本发明公开了一种链式烧结炉输送装置,包括主动辊轮、从动辊轮以及绕设于主动辊轮和从动辊轮上的输送网带,
17 CN303959837S 多靶磁控溅射镀膜机 2016.12.07 1、本外观设计产品的名称:多靶磁控溅射镀膜机。2、本外观设计产品的用途:本外观设计产品主要用于产品的
18 CN205773055U 一种用于生产型磁控溅射系统的升降机构 2016.12.07 本实用新型公开了一种用于生产型磁控溅射系统的升降机构,包括同步带机构、顶板组件和四根竖直设置的升降丝
19 CN105382414B 用于激光焊接的旋转平台 2017.05.03 本发明公开了一种用于激光焊接的旋转平台,包括定L型板、动L型板、旋转组件和工作组件,工作组件固装于动
20 CN106596657A 嵌入式柔性基体薄膜烧蚀传感器及其制备方法 2017.04.26 本发明公开了一种嵌入式柔性基体薄膜烧蚀传感器及其制备方法。该嵌入式柔性基体薄膜烧蚀传感器包括柔性基体
21 CN106595300A 一种升降输送装置 2017.04.26 本发明公开了一种升降输送装置,包括隔热壳体、输送驱动组件、升降驱动组件、及设于隔热壳体内的固定辊台和
22 CN106595296A 一种用于气氛保护辊道炉的物料循环输送装置及方法 2017.04.26 本发明公开了一种用于气氛保护辊道炉的物料循环输送装置,包括炉体、入口隔离舱、出口隔离舱、上料线、下料
23 CN106591941A 一种硅外延反应腔室 2017.04.26 本发明公开了一种硅外延反应腔室,包括反应室、进气调节组件、排气法兰和晶片承载盘,所述进气调节组件与所
24 CN106595913A 一种带温度控制的硅压阻压力传感器 2017.04.26 本发明公开了一种带温度控制的硅压阻压力传感器,包括压力敏感芯片和温度控制单元,所述压力敏感芯片的基底
25 CN106595910A 一种应力传感器及其制备方法 2017.04.26 本发明公开了一种应力传感器,包括引线组件和沉积于被测结构件上的过渡层,所述过渡层上依次沉积有绝缘层、
26 CN106601854A 一种异质结太阳电池及其制备方法 2017.04.26 本发明公开了一种异质结太阳电池及其制备方法,该异质结太阳电池包括硅片基底,硅片基底上设有氧化铝薄膜,
27 CN106600102A 一种电池材料制造工厂的智能管理系统 2017.04.26 本发明公开了一种电池材料制造工厂的智能管理系统,包括:数据采集模块,用于采集生产数据;智能云服务平台
28 CN106567912A 一种用于平板PECVD设备的带传动装置 2017.04.19 本发明公开了一种用于平板PECVD设备的带传动装置,包括传动张紧单元,所述传动张紧单元包括传动轴、同
29 CN106564610A 一种旋翼无人机辅助起降系统 2017.04.19 本发明公开了一种旋翼无人机辅助起降系统,包括底座和起降平台,所述起降平台安装于所述底座上,所述起降平
30 CN104393106B 一种太阳能电池片离子注入机 2017.04.19 本发明公开了一种太阳能电池片离子注入机,属于光伏用半导体器件制造领域。所述离子注入机包括用于产生所需
31 CN106571321A 一种用于快速热处理设备的载片台 2017.04.19 本发明公开了一种用于快速热处理设备的载片台,包括晶片支撑组件及用来驱动晶片支撑组件旋转的驱动组件,所
32 CN106571314A 一种硅片线痕检测装置及检测方法 2017.04.19 本发明公开了一种硅片线痕检测装置,包括用于传输硅片至检测工位的传输平台,检测工位的下方设置有旋转平台
33 CN106563338A 一种低压扩散炉尾气处理装置 2017.04.19 本发明公开了一种低压扩散炉尾气处理装置,包括冷却腔、吸收过滤腔、除湿腔及尾气导管,所述冷却腔内盛有用
34 CN103926023B 一种用于高温大热流测量的热流传感器及其制备方法 2017.04.12 本发明公开了一种用于高温大热流测量的热流传感器及其制备方法,本发明热流传感器底座上固定有支架,支架上
35 CN105140312B 复合透明导电氧化物薄膜及其制备方法 2017.04.12 本发明公开了一种复合透明导电氧化物薄膜及其制备方法。该复合透明导电氧化物薄膜包括ITO层和ZIO层,
36 CN304096205S 磁控溅射镀膜机 2017.04.05 1、本外观设计产品的名称:磁控溅射镀膜机。2、本外观设计产品的用途:本外观设计产品主要用于产品的镀膜
37 CN105226136B 一种用于制备太阳能电池细栅的环形喷墨打印系统 2017.04.05 本发明公开了一种用于制备太阳能电池细栅的环形喷墨打印系统,包括喷墨头机构、环形运动机构和载片机构,喷
38 CN106556610A 一种硅片线痕检测方法及检测装置 2017.04.05 本发明公开了一种硅片线痕检测方法和检测装置,该方法包括:S1.将待检硅片以预设的速度通过激光位移传感
39 CN106546097A 石墨负极材料烧结炉排焦段结构及石墨负极材料烧结炉 2017.03.29 本发明公开了一种石墨负极材料烧结炉排焦段结构,包括底座、分设于底座左右两侧的主体部分及安装于主体部分
40 CN106541238A 一种用于焊接光伏设备多功能推车框架的焊接平台 2017.03.29 本发明公开了一种用于焊接光伏设备多功能推车框架的焊接平台,包括用于放置待焊接件的平台,平台上设有多个
41 CN106546363A 一种薄膜压力传感器及其封装方法 2017.03.29 本发明公开了一种薄膜压力传感器,包括基座、密封环、盖板、芯片和引线支架组件,引线支架组件包括引线支架
42 CN104404625B 一种用于减压扩散系统的尾气处理装置 2017.03.29 一种用于减压扩散系统的尾气处理装置,其包括用于接收减压扩散系统输出尾气的石英反应管(1),该石英反应
43 CN106531820A 适用于HIT电池的石墨烯电极制备方法、石墨烯电极及HIT电池 2017.03.22 本发明公开了一种适用于HIT电池的石墨烯电极制备方法、石墨烯电极及HIT电池。该适用于HIT电池的石
44 CN106525295A 一种硅压阻式芯体 2017.03.22 本发明公开了一种硅压阻式芯体,包括管座以及位于所述管座内的芯片,所述管座于硅压阻式芯体的高压端设置有
45 CN105252184B 一种用于光伏设备焊接护板拉手的模具 2017.03.22 本发明公开了一种用于光伏设备焊接护板拉手的模具,包括工作台,所述工作台上设有工装定位区,所述工装定位
46 CN106531601A 一种用于离子束刻蚀机的工件台 2017.03.22 本发明公开了一种用于离子束刻蚀机的工件台,包括扫描小车、装设于扫描小车上的基片台及装设于基片台上的基
47 CN106535099A 一种WiFi信号源的定位方法 2017.03.22 本发明公开了一种WiFi信号源的定位方法,步骤为:S01、开始,利用定向天线在位置A处接收WiFi信
48 CN106513732A 一种自定心多爪卡盘装置 2017.03.22 本发明公开了一种自定心多爪卡盘装置,用于卡紧工件后和加工机床配合以使加工机床对卡紧的工件进行加工,包
49 CN104181202B 一种多冗余氢气传感器 2017.03.15 本发明公开了一种多冗余氢气传感器,主要用于检测气流中存在的成分,属于气体传感器。所述多冗余氢气传感器
50 CN104409307B 一种离子注入机扫描装置及扫描方法 2017.03.15 本发明公开了一种离子注入机扫描装置及扫描方法。所述扫描装置包括固定座,装在固定座上可沿着固定座竖直上
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