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中国电子科技集团公司第四十八研究所
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Telephone:0731-5401491
地址:湖南长沙市天心区新开铺路1025号
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      中国电子科技集团公司第48研究所是我国的从事研究\开发\制造以"三束"为主的半导体微细加工设备的厂家. 它通过了 GB/T1 9001-2000 (idt ISO9001:2000) 质量体系认证.
我所主要开发五大系列的产品:1、离子注入机\电子束